參數(shù)分析儀是一種多功能的測(cè)試儀器，能夠執(zhí)行電流-電壓（IV）、電容測(cè)量（CV）等多種測(cè)量和分析功能。以下是其主要技術(shù)指標(biāo)：

• 測(cè)量功能：在0.1 fA - 1 A / 0.5 μV - 200 V范圍內(nèi)執(zhí)行精確的電流-電壓（IV）測(cè)量，支持點(diǎn)測(cè)量、掃描測(cè)量、采樣和脈沖測(cè)量。在1 kHz - 5 MHz頻率范圍內(nèi)執(zhí)行交流電容測(cè)量，支持準(zhǔn)靜態(tài)電容-電壓（QS-CV）測(cè)量的脈沖 IV 測(cè)量和超快 IV 測(cè)量，低采樣間隔為5 ns（200 MSa/s）。
• 測(cè)量精度：電容測(cè)試精度（1 pF，1 MHz）±1.2%。
• 分辨率：SMU模塊最小測(cè)量分辨率為：電流50 fA，電壓0.5 μV。
• 其他特性：高達(dá)40 V的高壓脈勢(shì)，適用于非易失存儲(chǔ)器測(cè)試。

這些技術(shù)指標(biāo)共同決定了參數(shù)分析儀的性能和適用范圍，對(duì)于用戶(hù)選擇合適的參數(shù)分析儀至關(guān)重要。